Sasaran molibdenum ialah sasaran logam khas yang diperbuat daripada molibdenum, terutamanya digunakan dalam bidang berteknologi tinggi. Molibdenum, logam perak-putih, terkenal dengan takat leburnya yang tinggi dan kekonduksian elektrik dan haba yang baik, yang membolehkannya kekal stabil dalam persekitaran suhu tinggi atau tekanan tinggi. Oleh itu, sasaran molibdenum memainkan peranan penting dalam pembuatan semikonduktor, teknologi pemendapan filem nipis, industri fotovoltaik dan peralatan pengimejan perubatan. Sasaran molibdenum boleh dihasilkan oleh penekanan isostatik panas (HIP), peleburan, pemendapan wap kimia (CVD), dan pemendapan wap fizikal (PVD). Setiap kaedah mempunyai ciri dan skop penggunaannya sendiri. Pilih teknologi penyediaan yang sesuai. Bergantung pada penggunaan akhir sasaran molibdenum yang diperlukan, prestasi yang diperlukan dan pertimbangan ekonomi.
Sandaran tembaga terikat bukan sahaja meningkatkan prestasi sasaran tetapi juga membantu mengurangkan kos operasi, yang amat penting untuk industri yang bergantung pada proses pemendapan filem nipis jangka panjang yang stabil. Ia mempunyai faedah berikut:
1. Meningkatkan kecekapan kekonduksian terma: Kuprum mempunyai kekonduksian terma yang sangat tinggi (kira-kira 400 W/m·K), yang jauh lebih tinggi daripada molibdenum. Mengikat sasaran molibdenum pada plat sandaran tembaga boleh meningkatkan kecekapan pengaliran haba keseluruhan sasaran dengan ketara. Semasa proses salutan berkelajuan tinggi, ini membantu mengalirkan haba dari sasaran molibdenum dengan lebih cepat, sekali gus menghalang sasaran daripada terlalu panas.
2. Kurangkan tegasan haba: Semasa proses pemendapan, tegasan haba pada bahan sasaran boleh menyebabkan keretakan dan keretakan. Kekonduksian haba yang tinggi pada plat sandaran kuprum membantu menyebarkan haba secara sekata dan mengurangkan kepekatan tegasan haba pada sasaran molibdenum, dengan itu mengurangkan kerosakan akibat haba.
3. Memanjangkan hayat perkhidmatan: Dengan mengurangkan tegasan haba dan meningkatkan kecekapan haba, plat belakang kuprum boleh memanjangkan hayat perkhidmatan sasaran molibdenum dengan ketara. Gabungan ini membantu mengelakkan kehausan atau kerosakan sasaran pramatang semasa penggunaan, mengakibatkan penggantian yang kurang kerap dan kos jangka panjang yang lebih rendah.
4. Meningkatkan kestabilan mekanikal: Penambahan plat sokongan tembaga juga meningkatkan kestabilan mekanikal keseluruhan sasaran. Ini amat penting semasa proses pemendapan berkelajuan tinggi, kerana ia membantu mengekalkan integriti struktur sasaran dan mengurangkan kerosakan akibat kejutan mekanikal atau getaran.
5. Kebolehsuaian yang kuat: Kaedah mengikat ini boleh melaraskan ketebalan dan bentuk satah belakang tembaga mengikut keperluan aplikasi yang berbeza, memberikan fleksibiliti dan kebolehsuaian yang lebih besar. Ini membolehkan sasaran molibdenum untuk lebih memenuhi keperluan peralatan dan proses pemendapan tertentu.
